| № | Узел / Параметр проверки | Регламент | Нормативное значение / Допуск | Статус |
|---|---|---|---|---|
| 01 | Давление сжатого воздуха на входе в КИМ | Ежедневно | 0.50 – 0.60 МПа (5.0 – 6.0 bar), пульсация не более ±0.02 МПа | |
| 02 | Точка росы и фильтрация воздуха | Ежедневно | Класс чистоты 1 по ISO 8573-1 (масло <0.01 мг/м³, влага -40 °C) | |
| 03 | Температура измерительной зоны лаборатории | Ежедневно | 20.0 ± 1.0 °C (для прецизионных 20.0 ± 0.5 °C), градиент < 0.5 °C/м | |
| 04 | Чистота гранитных направляющих осей X, Y, Z | Ежедневно | Очистка изопропиловым спиртом высокой чистоты (без абразива) | |
| 05 | Визуальный контроль рубинового наконечника щупа | Ежедневно | Отсутствие налипания стружки, сколов, сферичность < 0.2 мкм | |
| 06 | Квалификация (калибровка) щупа на калибровочной сфере | Ежедневно | Повторяемость диаметра сферы в пределах ±0.8–1.2 мкм | |
| 07 | Поворотная головка (Renishaw PH10M / RDS / PH20) | Еженедельно | Фиксация в позициях A/B, отсутствие люфта Hirth-муфты | |
| 08 | Модули смены щупов (TP20, TP200, SM25, SP25M) | Еженедельно | Сила расцепления магнитных контактов, очистка спиртом | |
| 09 | Зазор аэростатических воздушных опор (Air Bearings) | Еженедельно | Зазор 3–6 мкм, отсутствие касания гранита при движении каретки | |
| 10 | Оптические линейки и считывающие головки (Renishaw/Heidenhain) | Ежемесячно | Амплитуда сигнала 1Vpp, чистота защитных лент и шкал | |
| 11 | Натяжение ремней привода осей X, Y, Z | Ежемесячно | Прогиб ремня по техпаспорту завода, отсутствие расслоения корда | |
| 12 | Аварийные концевые выключатели и стопоры E-Stop | Ежемесячно | Мгновенное обесточивание сервоприводов при срабатывании | |
| 13 | Тест погрешности длины MPE_E по ГОСТ Р ИСО 10360-2 | Ежеквартально | Проверка по концевым мерам (КМД) / ступенчатой планке: E ≤ 1.5 + L/350 мкм | |
| 14 | Математическая термокомпенсация CAA | Ежеквартально | Корректность считывания термодатчиков осей и детали |
Если при калибровке сферы разброс диаметра превышает 1.5 мкм, либо наблюдается дрейф координат детали между сменами более 5 мкм — эксплуатация КИМ должна быть приостановлена до проведения лазерной интерферометрической юстировки (Renishaw XL-80) во избежание массового пропуска брака на ОТК.