Устранение 21 пространственной геометрической погрешности КИМ Carl Zeiss Prismo лазером Renishaw XL-80

⚠️ Исходная производственная проблема

После перепланировки цеха и перемещения КИМ Carl Zeiss Prismo на новое место в измерительной лаборатории контрольные замеры шарикового ступенчатого калибра (Step Gauge) длиной 1020 мм показали отклонение длины E_0 до 14 мкм. Замеры взаимной перпендикулярности осей X-Y и Y-Z выявили перекос портала более 18 угловых секунд.

Корневая физическая причина инцидента:

1. Усадка виброизолирующего фундамента под массой гранитной станины весом 6 тонн.
2. Разрегулировка винтов предварительного натяга аэростатических опор левой и правой колонны моста.
3. Полный сброс заводской CAA-матрицы коррекции 21 геометрической ошибки после аварийного отключения питания.

🔬 Экспресс-диагностика метрологической службы ПРОМТОЧ

1. Нивелирование плоскостности гранитной направляющей прецизионными дифференциальными уровнями Wyler BlueLEVEL с шагом 100 мм.
2. Интерферометрическое измерение позиционирования, линейных отклонений прямолинейности и угловых погрешностей (рыскание, тангаж, крен) интерферометром Renishaw XL-80.
3. Оптическое измерение неперпендикулярности осей с помощью кварцевого угольника 500×500 мм и пентапризмы.

🛠️ Технологический регламент восстановительных работ

1. Механическая регулировка трехточечной изостатической опоры гранитной плиты КИМ с контролем нулевого скручивания.
2. Юстировка зазоров воздушных опор (оптимальный зазор 4.5–5.5 мкм при давлении 5.2 бар).
3. Построение новой 21-точечной объемной матрицы коррекции CAA (Computer Aided Accuracy) в контроллере Zeiss C99.
4. Поверочный прогон шариковой планки по 4 пространственным диагоналям рабочей зоны КИМ по ГОСТ Р ИСО 10360-2.